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中国科学院上海光学精密机械研究所单一来源采购微环境系统征求意见公示

来源：发布时间：2021-12-10【字体：大中小】

采购人：中国科学院上海光学精密机械研究所

住所：上海市嘉定区清河路390号

一、 采购项目名称：微环境系统

二、 资金来源及采购预算：财政性资金，已落实。

三、拟采购的货物项目背景

拟采购的微环境系统，用于激光直写系统外部环境精密控制，保障工件台和光刻机正常工作。

四、采用单一来源采购方式的原因及相关说明

北京华卓精科科技股份有限公司（下称“华卓精科”）长期从事集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化，具备工件台及光刻系统配套微环境系统的研制能力。目前我所与华卓精科已经形成了技术开发服务和供货关系，开展工件台研发。本次合同申请的微环境系统技术指标如下：1）微环境与直写光刻机主机在空间上无干涉，相对独立；2）全局气浴温度：<=±30mK@8h；3）局部气浴温度：<=±10mK@8h；4）微环境内的洁净度：优于ISO class 5（国标百级）；5）视频监控：全局监控+运动部分监控；6）全局湿度与稳定性：<=35±5%@24h。7）满足华卓精科为我所配套工件台（销售合同编号KS21-0230）其他使用条件的要求。

经项目组前期充分调研，华卓精科是国内唯一满足项目指标需求的工件台供应商，由于前期已完成华卓精科工件台的采购，在同一家采购配套的微环境系统才能保证系统的完整性和配套性，并且该公司从技术、人员、周期等各方面都能够满足相关要求。

因此，为保证科研工作及时开展、确保项目顺利进行，根据专家意见，拟采购的微环境系统通过单一来源方式进行采购。

供应商名称：北京华卓精科科技股份有限公司

供应商地址：北京市北京经济技术开发区科创十街19号院

五、公示意见期限从2021年12月10到2021年12月16日

潜在政府采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期限内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至中国科学院上海光学精密机械研究所政府采购信箱（zfcg@siom.ac.cn）。

六、采购人联系方式

地址：上海市嘉定区清河路390号

联系人：戴君

联系电话：021-69918871

E-mail: zfcg@siom.ac.cn

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