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中国科学院上海光学精密机械研究所单一来源采购基板缺陷检测系统征求意见公示

来源：发布时间：2021-12-10【字体：大中小】

采购人：中国科学院上海光学精密机械研究所

住所：上海市嘉定区清河路390号

一、 采购项目名称：基板缺陷检测系统

二、 资金来源及采购预算：财政性资金，已落实。

三、拟采购的货物项目背景

拟外协研制的基板缺陷检测系统用于基板缺陷检测。

四、采用单一来源采购方式的原因及相关说明

合肥知常光电科技有限公司通过自主攻关，已掌握先进激光散射检测技术、多模式高分辨显微成像检测技术、先进机器视觉检测技术等关键核心技术。具备可用于集成电路芯片制造全制程的缺陷检测能力，包含晶圆基片缺陷检测、芯片制造过程缺陷检测、掩模版缺陷检测、芯片封装过程缺陷检测等。同时具备用于基板表面缺陷检测系统的研制能力，其研制的钕玻璃表面疵病检测仪等设备应用于点火供货项目中并发挥了重要作用。目前我所与合肥知常光电科技有限公司已经形成了稳定的技术开发服务和研发供货关系。本次合同申请研制的基板缺陷检测系统，要求缺陷检测尺度≦36nm。该公司是目前国内具备对应研发能力的唯一一家研制单位，并且从技术、人员、周期等各方面都能够满足相关要求。

因此，为保证科研工作及时开展、确保项目顺利进行，根据专家意见，拟外协研制的基板缺陷检测系统通过单一来源方式进行采购。

供应商名称：合肥知常光电科技有限公司

供应商地址：安徽省合肥市高新区望江西路800号

五、公示意见期限从2021年12月10到2021年12月16日

潜在政府采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期限内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至中国科学院上海光学精密机械研究所政府采购信箱（zfcg@siom.ac.cn）。

六、采购人联系方式

地址：上海市嘉定区清河路390号

联系人：戴君

联系电话：021-69918871

E-mail: zfcg@siom.ac.cn

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